靜電卡盤
精瓷材料,提供氧化鋁、氮化鋁材質的庫侖力型、JR型靜電卡盤ESC;泛半導體用碳化硅、氧化鋁真空吸盤以及氮化鋁發熱體,為半導體設備、半導體芯片制造提供關鍵部件的安全供應。
廣東精瓷新材料有限公司成立于2021年,具有多年HTCC研發及生產經驗,專注于半導體用陶瓷靜電卡盤ESC、精密陶瓷真空吸盤及氮化鋁陶瓷發熱體的研發制造。
公司具備年產2000套12寸& 8寸氧化鋁&氮化鋁靜電卡盤,20000套300mm以上尺寸碳化硅&氧化鋁真空吸盤的生產能力,并設立有ESC專用測試設備、SEM、三坐標、輪廓儀等多種測試設備的測試中心。
2025-10
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2025-08
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2025-01
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